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基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法

2013年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明公开了一种基于SU-8厚光刻胶的三维圆滑曲面微结构的制作方法，该方法以聚二甲基硅氧烷（polydimethylsiloxane，PDMS）压模技术结合未交联SU-8光刻胶的回流特性制作具有圆滑曲面特征的微结构。首先通过光刻工艺制作SU-8原模，并以此原模浇注PDMS形成母模，然后利用压模技术将此PDMS母模转制成SU-8阳模，剥离PDMS模具后，将此未经曝光交联反应的SU-8阳模置于...

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