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利用飞秒激光在玻璃内部直写微机械零件的方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种利用飞秒激光在玻璃内部直写微机械零件的方法，包括对多孔玻璃飞秒激光直写、退火等步骤，本发明方法具有简单、快速、高精度的特点，可在玻璃芯片内部实现较复杂的微机械结构。本发明要解决的技术问题在于克服现有激光微加工技术在玻璃内部制作微机械长度受限、深度受限、加工精度低和后期处理步骤复杂的问题，提供一种利用飞秒激光在玻璃内部直写微机械零件的方法，该方法具有简单、快速、高精度的特点，可在玻璃芯片...
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