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基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法,通过最大光强位置对仿真和实测空间像进行定心,然后对仿真空间像进行主成份分析得到主成份矩阵,再建立主成份系数与泽尼克系数之间的回归矩阵,最后利用主成份矩阵和回归矩阵求解实测空间像的波像差。本发明的优点是提出了一种简易的空间像定心方法,使基于空间像主成份分析的波像差检测方法的检测速度和精度都得到了明显提高。...
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