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8英寸半导体薄膜（PECVD）专用设备

2013年

应用技术

中期阶段

成果简介

（1）任务来源：“8英寸半导体薄膜（PECVD）专用设备”项目是本公司根据国内市场需求自主研发的课题。
（2）应用领域和技术原理。
本项目产品是用于8英寸半导体芯片生产线及半导体集成电路与分立器件生产线的薄膜制备设备，应用在半导体集成电路生产及光波导纤维制造领域。
等离子体增强化学气相沉积设备（简称PECVD）技术原理是借助于辉光放电等离子体，使含有...

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