国家科技成果网
热门搜索:  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

国家科技成果网 首页 成果 查看内容

面向微制造过程的跨尺度、多参数测量技术及装备

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本成果受到
(1)基于在线测量的三维微纳结构超精密加工现场质量控制关键技技术研究,国家高技术研究发展计划(“863”计划,编号:2009AA04Z168)、
(2)大面积、高深宽比微纳结构(HARMS)的超精密在线测量基础技术研究,国家自然科学基金“纳米制造的基础研究”重大研究计划(编号:90923031)、
(3)大规模集成电路...
相关成果

标签云

相关机构

Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位:科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统