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4英寸LED图形化蓝宝石衬底

2013年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

发光二极管（Light emitting diode,LED）大多采用蓝宝石作为衬底材料在其上外延生长相应的晶体材料。图形化的界面改变了GaN材料的生长过程，能抑制缺陷向外延表面的延伸，提高器件内量子效率；同时，粗糙化的GaN蓝宝石界面能散射从有源区发射的光子，使得原本全反射的光子有机会出射到器件外部，能有效提高光提取效率。基于PSS衬底的外延材料制成的LED器件参数表明，其20mA下光功...

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