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大晶粒准单晶硅铸锭技术

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目通过调整铸锭炉工艺,完成了准单晶硅锭的铸造,而且将籽晶厚度控制在15mm左右,比业内采用的20mm或25mm厚的籽晶降低了成本。准单晶目前存在的问题是由于籽晶间缝隙的存在导致了大量的瀑布状位错。本项目研究通过对缝隙的特殊处理,减少了位错的形成,并利用GT多晶铸锭炉进行准单晶实验,在多晶铸锭基础上进行铸造单晶技术实验,生产出中间区域为单晶,周边区域为高效多晶的硅锭。产品同时具备单晶硅效...
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