国家科技成果网
热门搜索:  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

国家科技成果网 首页 成果 查看内容

MEMS汽车空气流量计

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
MEMS汽车空气流量计主要应用于汽车发动机,测量进入发动机的空气质量,提供发动机管理系统进行空燃比控制,实现发动机动力、节油、控制废气排放的控制。
传感器芯片采用微电子机械(MEMS)工艺加工,采用热膜悬空结构,实现快速响应,支撑薄膜为高强度氮化硅薄膜,溅射精密薄膜铂电阻,其表面制作钝化层实现耐油、耐湿的防护;信号调理电路采用数模转换器和微处理器,嵌入式软件结合拟合算法...
相关成果

标签云

相关机构

Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位:科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统