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超大型精密仪器及系统隔微振技术与装置

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目来源于985工程项目《大型超精密空气弹簧基础》，以及北京空间机电研究所《大型气浮隔振平台技术开发合同》。
研制超大型精密仪器及系统隔微振装置，其主要技术指标为：
1）气浮隔振平台在达到设计载荷时，其垂直及水平方向的固有振动频率：f≤1.5Hz；
2）平台上任一点在2-100Hz频段范围内任一频率点的振动速度： Vmax≤0.0...
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