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100米双频激光干涉仪

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
主要内容：研究和突破了超大尺寸测量和超精密级激光稳频等关键技术，研制成功国内第一台100米双频激光干涉仪，为我国超大尺寸精密机械加工、超精密装备制造和精密计量检定提供核心测量技术基础和重要测量手段。
关键技术及创新点：关键技术包括超大尺寸测量技术、超精密级激光热稳频技术和快速超精密干涉信号细分处理技术等，创新点包括提出一种超精密激光热稳频技术和一种快速超精密干涉信号细分...
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