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3米级大型磁控溅射光学镀膜设备

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.课题来源：
3米级大型磁控溅射光学镀膜设备（JC3200-1/G型磁控溅射镀膜设备）是成都南光机器有限公司为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制的专用磁控溅射设备。适用于航空、航天、卫星、飞船等对地观测大型光学元件的制作及对空观测的大型空间经纬仪光学系统的制作。也适用于天文观测台/站，气象观测台（站）等科研单位，为大型光学望远镜镀制大尺寸光学元件。
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