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一种籽晶粘结装置

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
碳化硅单晶的生长是在籽晶的基础上逐渐成晶，因此籽晶粘接是影响晶体生长质量的尤为关键步骤之一。目前，常用的粘籽晶的方法是热压法，即先用粘结剂把籽晶与籽晶托粘在一起，然后加热籽晶并在籽晶上加重物，粘接籽晶。此方法不足之出：因一般加热籽晶的装置上没有固定籽晶托的装置，所以在籽晶上压重物时容易压偏、压裂籽晶。
此创新中，主机架的平台下装有可加热的装置，且在加热部分装有部分保温材...
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