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磁控溅射设备研发与产业化

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
PVD设备是集成电路领域关键设备，是集成电路领域售价仅次于光刻机的高端设备，也是西方国家对中国限制技术出口的三大集成电路制造设备（曝光、刻蚀、PVD）之一。
在02专项领导小组和北京市政府的高度重视和全力支持下，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限公司（以下简称北方微电子公司）承担了国家“十一五”极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项“65～45nm PVD设备研...
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