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多元材料跨尺度微纳加工与设计方法

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
针对微加工技术朝着微/纳尺度集成制造和多元材料复合制造方向发展的迫切需求，申请人遵循跨微纳尺度、多元材料复合、与常规微加工工艺兼容的技术路线，紧紧抓住有特殊应用价值的三维微/纳结构、多元材料复合结构等的加工制造问题，坚持并善于创新运用先进纳米加工手段和常规微加工工艺，以硅微加工工艺为基础，拓展开发了不同功能材料（如金属、聚合物等）的微纳加工工艺，建立了跨尺度微纳加工的设计方法，做出了富有特...
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