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新型微传感器及系统

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
课题受国家863计划项目《微麦克风批量制造与实用化研究项目》和《汽车胎压与防撞微传感器及其系统》的支持,获得了铁电微麦克风批量制与实用化技术以及应用于汽车胎压监测(TPMS)和倒车雷达(CRAS)的微型压力、温度和超声传感器及应用系统,研究得到了微型传感器的设计、制作、测试和封装的关键技术以及相关应用电路系统的理论和设计、制作、测试技术。
课题解决了批量制作铁电微麦克风...
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