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一种气相重掺硼区熔硅单晶的制备方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
区熔重掺硅单晶是天津市环欧半导体材料技术有限公司自主研发产品，属国内首创、国际领先产品，拥有发明专利。通过设计高精度掺杂装置，改进工艺，克服了硼烷气体在充入高温的炉膛内的过程中发生分解的问题。此装置包括一个放置于保温桶下方的重掺杂硼烷、氮气和氩气的三路联合进气管道；采用此方法生产的气相重掺硼区熔硅单晶具有氧含量为1ppm以下，轴向电阻率均匀度为±15%以内，电阻率达到0.004Ωocm的特...
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