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一种采用直径法控制区熔晶体自动生长方法及系统

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
直径法控制区熔晶体自动生长方法及系统是天津市环欧半导体材料技术有限公司自主研发项目，在国内尚无关于此技术的报道。传统的区熔法拉制单晶基本采用的是人工方式，而人工拉制大直径单晶时间过长，量产难度大；晶体生长中，人为影响因素较大，晶体的生长过程难以控制；单晶质量把握性差，人工拉晶不能够保证生产出的每一个区熔单晶都具备相同的质量。本项目通过对晶体生长形状的控制，主要通过改变加热功率和拉速等方法来...
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