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压电单晶基声表面波瓦斯传感器研究

2012年 基础理论
  • 成果简介
采用传输线路法对声表面波瓦斯传感机制建模及理论分析。改变温度和湿度条件，测定温度及湿度对声表面波瓦斯传感器传感性能影响，以验证理论分析结果，完善瓦斯传感理论模型。
在钽酸锂压电单晶基底上光刻制备叉指换能器，通过网络分析仪测量SAW谐振器的谐振性能，包括中心谐振频率、谐振带宽和插损等；探索高压电性薄膜及其制备方法，测试薄膜性能，并将测试结果与理论模拟结论相互验证；封装SA...
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