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蓝宝石晶片产业化关键技术

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　蓝宝石衬底片是制造半导体蓝色发光二极管的关键性材料，属于国家重点支持和鼓励发展的半导体照明技术领域，同时也是半导体照明产业链中的上游环节。本项目针对蓝宝石单晶基片产业化生产过程中的一系列关键技术。本技术内容提出了AL2O3单晶体生长方法及生长设备，其生长出的蓝宝石单晶体质量好、成品率高、适用于工业化生产。该技术是在坩埚下降法或热交换法的基础上，增加了一个搅拌器，加热使坩埚的原料全部熔化，籽晶与...
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