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危化品状态检测MEMS传感器产业化关键技术与应用

2012年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

项目研制出适合于危化品罐箱运输车状态监测MEMS压力、液位、高灵敏度高频响加速度、倾角传感器和温湿度传感器，解决了传感器加工、封装、测试等关键技术，完成了危化品罐箱运输车状态MEMS传感器的批量制造能力。并授权国家发明专利16项，实用新型专利10项，申请发明专利3项。...

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