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滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明所公开的滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及其导向装置,包括由下而上依次设置的滑座、滚珠丝杠副、滑台导轨副、螺母座、压电致动器、微动台、螺母导轨副及滑台。滚珠丝杠的轴线对称于2个滑台导轨副,滚珠丝杠副的螺母固定安装在螺母座内,压电致动器一端与螺母座固定连接,另一端与微动台固定连接,压电致动器的轴线对称于2个滑台导轨副,微动台的上表面固定安装在滑台的下表面上,2个螺母导轨副对称于滚珠丝杠...
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