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高功率激光器超精密单晶硅光学元器件

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目研制成的元件的表面粗糙度(RMS)≤0.1nm、光洁度达到美军标5-1级的高精度要求,并实施成果转化,项目执行期内实现销售收入1166万元,利润290万元。
本项目产品高功率激光器超精密单晶硅光学元器件性能指标:规格:Φ30.1 mm×6.1 mm;表面粗糙度(RMS):≤0.1nm;表面疵病等级(MIL-PRF-13830B):5-1;面形精度(PV)≤λ/10(...
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