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一种提高无铅铁电薄膜性能的方法及其制备的无铅铁电薄膜

2012年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种提高无铅铁电薄膜性能的方法及其制备的无铅铁电薄膜。具体涉及无铅铁电薄膜领域的一种利用电离辐照效应来减低无铅铁电薄膜漏电流的方法及其得到的无铅铁电薄膜。其是在室温下，使用带电粒子或者伽马射线等载能粒子束对无铅铁电薄膜进行辐照，其辐照总剂量为10Mrad-100Mrad，辐照后便得到漏电流降低的铁电薄膜。这对提高铁电存储器工作的稳定性和使用寿命，降低发热量有着重要的意义。...
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