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低损耗集成光学器件的低成本制备技术

2012年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本课题研究了新型无水有机无机杂化光波导材料的合成，这种新型光子材料适用于纳米压印技术，用纳米压印工艺，制备出了线宽700nm，线间距300nm的集成光子器件用的微结构图案，为进一步用低成本的纳米压印技术制造集成光子器件打下了实验基础。
本课题相关技术进一步完善后，可应用于各种集成光子器件的制备，包括光传感器件的制造。...
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