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还原炉自动化控制研发

2012年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

一、国内外多晶硅生产，还原炉一般都采用PID、SFC（顺序控制）或由时间控制电流等控制方式，其特点简述如下：
　　1.PID比例、积分、微分调节自动控制方式，属传统单一的控制方式。
　　2.SFC顺序控制方式，根据条件、按步进行。要求有确定的条件，属精确控制类。
　　3.电流随时间变化而变的预设电流、时间曲线控制方式，实为一种经验预测自动控制方式，缺乏灵...

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