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微电子用超高纯硝酸

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
超高纯硝酸是电子信息产业中关键性的基础材料，主要用于集成电路微加工过程中的清洗和刻蚀。世界超净高纯试剂市场基本由德、美、日、韩所垄断。我国高端超净高纯试剂基本依赖进口。加快超高纯试剂的国产化替代，具有重要的战略意义。...
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