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基于TSTGT技术的2～4英寸蓝宝石衬底及其关键制造设备的研发及产业化

2012年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　LED外延用衬底主要有蓝宝石、SiC和Si，蓝宝石（单晶Al2O3）C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN磊晶制程中耐高温的要求，使得蓝宝石衬底成为制作白/蓝/绿光LED的关键首选材料。随着LED产业的全渗透，对作为最上游的蓝宝石衬底材料需求将持续保持高速增长，需求领域主要集中在背光和照明领域。
　　本项目自行设计制造了具有分段水冷结构炉体和实时可调温...

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