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液态源汽化装置及汽化方法

2012年

应用技术

中期阶段

成果简介

该方法采用一种液态源的蒸发和鼓泡方法，主要用于高纯SiCl4、GeCl4、POCl3、DEZn、TEOS、TCS等液态源的蒸发或鼓泡。系统由汽化容器、蒸发装置、鼓泡装置、流量控制模组、保温箱、抽风柜、控制箱等部分组成，并可实现蒸发、鼓泡两种模式间的切换。汽化过程在汽化容器中完成，并根据终端用量需求切换使用蒸发系统或鼓泡系统，来实现汽化过程的控制。汽化容器所用部件均采用SS316L不锈钢材料...

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