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提高薄膜光谱性能的膜厚监控方法

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于计算机控制镀膜装置进行镀膜的提高薄膜光谱性能的膜厚监控方法，该方法包括该方法包括：（1）镀膜前向计算机输入镀膜参数：（2）通过计算机计算选择满足限制条件的监控波长λ和监控片数目，其中，得到一个与所镀膜系的镀膜监控表，包括所镀膜系按顺序的膜层、相应的监控波长和监控片序号；（3）镀膜等步骤。本发明能够自动选择监控波长和所需的最少监控片数目，采用比例式膜厚监控方法，减少了膜厚监控误差，提...
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