首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

激光直写微纳图形结构的方法

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种激光直写微纳图形结构的方法，包括以下步骤：玻璃基片清洗、玻璃基片和溅射靶材安装、磁控溅射仪抽真空、下层介质膜层的溅射、相变材料膜层的溅射、上层介质膜层的溅射后获得激光直写薄膜和激光直写微纳图形。本发明可以获得良好的亚微米级图形结构。这种图形结构有望用于太阳能电池，液晶显示等领域。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统