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TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅

2012年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅，该分束光栅的光栅周期为1830～1850纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为143～146纳米和500～508纳米，两脊之间距为594～597纳米，脊深为872～875纳米。当TE偏振光垂直入射时，其透射光将分成等强度的5束光，这5束光总的衍射效率大于96%，并且其均匀性优于5%。本发明TE偏振双脊熔石英透射1×5分束光栅由电子束直...

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