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表面织构化n型ZnO基透明导电薄膜及其制备方法

2012年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及表面织构化n型ZnO基透明导电薄膜及其制备方法。本发明在n型ZnO基透明导电薄膜的膜面形成大量排列规则、结构均匀、连通良好且具有 一定深度的微孔结构。这种表面织构化的薄膜具备良好的光捕获性能,且同时具有高的电导率。这种利用直流磁控连续溅射制备的表面织构化高性能n型ZnO基透明导电薄膜,其工艺简单,质量易于监控,适于大规模生产;可保持本体膜良好的柱状晶结构,孔与孔之间连通完好,保持...
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