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蓝宝石单晶炉

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　沈阳科仪公司利用自身技术基础，通过完善生产及检测试验验证设施，攻克了晶体生长区温度控制技术、载气流量和气压稳定性控制技术、提拉旋转机构稳定性控制技术等三项关键技术难题，研制出具有完全自主知识产权的蓝宝石单晶炉，并最终实现了产品批量化生产和产业化应用。
　　蓝宝石单晶炉是中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“沈阳科仪公司”）新产品开发项目。该项目于2010年1月立项，2011...
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