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基于钛酸锶薄膜阻变开关性能研究

2012年 应用技术
  • 成果简介
（1） 研究了SrTiO3（STO）陶瓷靶材的制备。
（2） 研究了Ti为上电极，STO为存储介质的I-V特性。
（3） 研究了Ti/STO/Pt结构阻变存储原型器件制备工艺。
（4） 研究了Ti/STO/Pt结构阻变存储器件单元的开关次数和保持特性。
（5） 研究了Ti/STO/Pt结构阻变存储器件单元的阈值...
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