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离子源系统

2005年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
1.项目来源及背景
近年来，离子注入工艺逐步取代了传统的高温扩散工艺。离子注入机是完成离子注入工艺的必备设备，离子源是离子注入机的心脏，具有精密度高、易损耗等特点。目前我中离子注入机完全依靠进口，每年我国进口离子源就花费几千万美元，因此根据国内IC产业的市场需求，填补国内空白，我公司决定开发研制离子源系统。
公司总经理王玉泉先生多次到美国IT设备专业生产厂家...
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