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微柔性结构的特性研究及其在MEMS中的应用

2012年 应用技术
  • 成果简介
柔性机构的出现为MEMS产品的开发，提供了一条切实可行的有效途径。本文针对不同类型的柔性结构的力学特性进行分析研究，并将应用于MEMS微柔性结构的分析与设计中，使MEMS产品设计的目的性更为明确，在一定程度上缓解设计中对经验的依赖性，为MEMS的产品设计提供有力的保障与技术支持，对于提高MEMS器件的性能，降低MEMS器件反复试制的高额设计成本及MEMS产品生产成本，提高产品的竞争力有着重...
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