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纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响

2012年

基础理论

成果简介

利用磁控溅射和离子束辅助沉积技术合成了具有不同调制结构的ZrB2/AlN、ZrB2/ZrAlN、TiB2/TiAlN、ZrB2/W、ZrB2/WNx、TiB2/Si3N4、TiB2/BN等多种相互组合的纳米多层膜，从优化工艺参数以及界面和超晶格结构角度系统研究和改善这些多层膜体系的性能；发现了不同沉积条件、溅射方法、实验设计、退火处理等工艺参数对其性能和结构的影响规律，在最佳条件下合成的多...

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