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MOCVD技术柔性衬底上生长绒面结构ZnO-TCO薄膜

2012年

应用技术

初期阶段

成果简介

1.课题来源和背景：此项目来源于天津市应用基础及前沿技术研究计划。近几年来，柔性衬底薄膜太阳电池研究得到广泛的关注，这主要是因为柔性衬底薄膜太阳电池具有成本低廉、重量轻及可卷曲的优点。其中关键的核心技术是实现柔性衬底上生长透明导电氧化物(TCO)薄膜材料。当前国际上利用MOCVD技术在PET等柔性衬底上生长具有绒面陷光结构的ZnO:B薄膜，并且将它作为硅基薄膜太阳电池前电极应用到电池中的报...

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