化工
化学化工
大直径晶体生长控制关键技术研究
成果概况
| 成果类别： | 应用技术 | 体现形式： | 新技术 | 课题来源： | 地方计划 |
| 起止时间： | 2009.03 至2011.02 | 研究形式： | 独立研究 | 所处阶段： | 初期阶段 |
| 成果属性： | 原始性创新 |
成果简介
本项目属晶体生长设备关键控制技术领域。针对大直径晶体生长设备关键控制技术和工艺进行研究，主要完成了如下任务：
1）设计高效加热电源；
2）设计了加热器温度控制系统；
3）设计了4个自由度6个电动机控制控制系统；
4）设计了晶体生长控制和等径控制软件；
5）设计了炉膛压力控制算法。给出了提供完整的晶体生长控制方案和高效率加热电源设计方案。利用所提出方案成空拉制出符合集成电路微观指标要求的单晶棒，开发的液面测量装置获得了国际知名单晶炉企业的高度评价。
该项目依托晶体生长设备陕西省工程技术研究中心完成，该项目的顺利完成为陕西省高端晶体生长设备的制造提供了良好契机，为进一步在陕西延长产业链实现集成电路用硅材料的产业化生产奠定了良好基础。
进一步对控制系统硬件可靠性进行拉晶考验，并寻找风险投资等社会基金投入组建高端晶体生长设备的制造公司，可更好服务陕西。
应用前景
| 主要应用行业： | 科学研究和技术服务业 | 知识产权形式： | |
| 应用状态： | 产业化应用 | 拟转化方式： |
单位概况
| 完成单位： | 西安理工大学 | ||||
| 单位地址： | 陕西省西安市碑林区金花南路5号 | ||||
| 单位电话： | 029-82312509;82312218 |
联系方式
| 联系人： | 李柱 | 联系人电话： | 029-82312725 | 联系人Email： |