化工
化学化工
太阳能电池用无机染料敏化纳米材料制备及性能
成果概况
| 成果类别： | 应用技术 | 体现形式： | 新技术 | 课题来源： | 地方计划 |
| 起止时间： | 2006.01 至2008.12 | 研究形式： | 独立研究 | 所处阶段： | 初期阶段 |
| 成果属性： | 原始性创新 |
成果简介
提出一种新工艺制备薄膜材料，包括下列步骤：
1)加工导电模具，在硅片上刻蚀出具有微米或纳米级图案结构，然后通过热氧工艺在图案结构的表面制备一介电层，或在石英上刻蚀出具有微米或纳米级图案结构，然后在图案结构的表面顺序制备一透明导电层和一介电层，透明导电层的厚度为50nm，介电层的厚度为模具腔体宽度的1/10～1/100，透明导电层为氧化铟锡ITO，介电层为SiO2；
2)在导电模具上匀胶，在导电模具上旋涂紫外光固化胶、热固化胶或热熔胶，形成一层聚合物薄膜，聚合物薄膜的厚度为模具腔体深度的2倍；
3)探针电极扫描填充，将探针电极插入或接触聚合物薄膜，在导电模具和探针电极间施加直流电压，电压大小以介电层不被击穿为限，然后移动探针电极，则探针电极扫描过的模具腔体会被聚合物薄膜填充进去，控制电压大小获得不同深度的填充；
4)聚合物转移，将目标衬底覆盖在聚合物薄膜上，然后将聚合物薄膜固化，固化后脱模，即可得到具有三维结构的微/纳米图案，目标衬底为硅或石英。
应用前景
| 主要应用行业： | 制造业 | 知识产权形式： | |
| 应用状态： | 产业化应用 | 拟转化方式： |
单位概况
| 完成单位： | 西安交通大学 | ||||
| 单位地址： | 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 | ||||
| 单位电话： | 029-82668234;82668338 |
联系方式
| 联系人： | 汪敏强 | 联系人电话： | 029-82668679 | 联系人Email： |