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大行程、高精度、快响应直线压电电机的研究

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
在现代科学技术的发展过程中，随着人们对微小世界探索的逐步深入，纳米技术和微机电系统技术已经成为了二十一世纪优先发展的重点课题之一。特别是随着半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微装配和纳米技术的迅速发展，对精密定位系统的需求不断增加，且对精密定位系统的行程、精度和速度等多方面提出了愈来愈高的要求。目前，精密定位系统主要有以下几种驱动方式：
（1）电磁型旋转电机加...
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