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一种具有纳米SiC薄膜的压力传感器的制备方法
成果完成单位： 西安交通大学 批准登记单位： 陕西省科学技术厅
登记日期： 2015-01-03 登记号： 9612015Y2220 成果登记年份： 2015
成果完成人
张秀霞；魏舒怡；卢秉恒
合作完成单位
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