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冗余解耦微定位装置关键技术

2011年 应用技术
  • 成果简介
　　随着设备微型化、微芯片高度集成化、操作精密化等趋势日益明显，微/纳米定位技术已经成为对国民经济具有重大影响的一项关键技术，也一直是各个发达国家的科研机构、高等院校和大型企业研究的重点。国家自然科学基金委还专门设立了“纳米制造的基础研究”重大研究计划。针对目前传统的微纳定位装置工作空间小、整体驱动系统结构复杂、体积大、造价高、无法小型化的问题，本项目采用冗余解耦微定位技术来解决这些问题。这项研究...
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