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电容微加工超声传感器的工作机制和理论模型

2011年 应用技术
  • 成果简介
　　该项目研究属信息科学的传感器技术、超声传感器。主要研究内容和创新成果如下：该项目为电容微加工超声传感器发展了全新的空气弹簧支撑的张力板模型(简称为TDK模型)。该模型计及影响传感器行为的所有四个刚度，即膜片的弯曲刚度、膜片中的张力、气隙空气的压缩刚度、静电负刚度，以及声辐射阻抗和电极的影响，并对这些影响及其相互关系给出完整的物理和数学描述，从而从理论上深刻揭示了电容超声传感器的工作机制，对这种...
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