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单次5根硅芯JN-FZ-400-5型硅芯炉

2010年 应用技术
  • 成果简介
　　该项目应用于半导体材料制造业(多晶硅的西门子法生产中)，用于拉制多晶硅还原生产中一种必不可少的原材料--硅芯。在多晶硅的还原生产过程中，先用硅芯在还原炉内搭接成一个闭合回路(行话叫“搭桥”)，把硅芯作为一个大电阻，对其进行通电加热，然后向还原炉内通入三氯氢硅和氢气，用氢气还原三氯氢硅，生成的多晶硅就沉积在硅芯表面，所以硅芯是西门子法生产多晶硅所必须具备的一种材料，没有硅芯多晶硅的还原生产是无法...
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