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新一代清洁、节能的大型蒸发镀膜设备

2009年 应用技术
  • 成果简介
　　该项成果采用原创性成果《分子增压泵》+深冷挡板组合，取代大型蒸发镀膜设备的扩散泵和罗茨泵，实现：1.节省抽气能耗80%，年节电38万度/台。2.消除油蒸汽污染，消除膜层泛黄现象，显著提高产品质量。3.一套粗抽机组可供多台镀膜设备共用，节省大量设备费用和占地空间。4.资金回收快，8个月节省的电费就能收回设备改造费用。技术创新：该项成果是国际真空技术的重大突破，开创了具有自主知识产权、清洁、低能耗...
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