基于MEMS工艺技术的热熔式压力传感器
| 成果完成单位： | 浙江盾安人工环境股份有限公司 | 批准登记单位： | 浙江省科学技术厅 | ||
| 登记日期： | 2013-12-30 | 登记号： | 14006383 | 成果登记年份： | 2014 |
成果完成人
张胜昌；段飞；张焱；赵丹静；冯剑桥；王鑫楠
合作完成单位
| 成果完成单位： | 浙江盾安人工环境股份有限公司 | 批准登记单位： | 浙江省科学技术厅 | ||
| 登记日期： | 2013-12-30 | 登记号： | 14006383 | 成果登记年份： | 2014 |