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超精密平面抛光关键技术研发及产业化应用

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本课题来源于国家科技支撑计划重点项目、国家自然科学基金重点项目。
高精度平面零件广泛应用于光学、光电子、精密机械及国防领域。YT2M-4826高精度立式双面抛光机可应用于半导体、玻璃、功能陶瓷以及金属等材料双平面零件的超精密抛光。
为有效实现双平面抛光的高精度、高效率及高稳定性，YT2M-4826高精度立式双面平抛光机采用了如下新技术和新工艺：
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