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多晶硅铸锭炉真空系统

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目由首次在国内开发的抽速为70L/S的滑阀真空泵、抽速为260L/S的罗茨真空泵、除尘器、除雾器、减震器组成的成套多晶硅铸锭炉真空系统，提升产品的技术含量，提高产品的附加值；首次在国内采用变径（缸体直径不同）三缸结构单级滑阀真空泵，达到降低噪音，降低震动、增加泵可靠性的目的。首次在国内开发抽速为260L/S的罗茨真空泵及抽速为260L/S的罗茨滑阀真空机组，能满足多晶硅铸锭炉的工艺要求。...
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