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纳米超硬薄膜制备及应用关键技术研究

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　1、完成类金刚石膜制备技术的实验室研究，研究磁控溅射、等离子体化学气相沉积两种方法制备剃须刀动定刀类金刚石耐磨减摩涂层时的沉积工艺，研究沉积条件如功率、气体压力、阴极偏压等因素对类金刚石沉积速率和质量的影响规律，优选获得制备高质量的类金刚石涂层的最佳工艺条件。
　　2、针对剃须刀涂层的具体应用，探索形成一套能有效控制批量生产的类金刚石涂层质量的检测方法，运用多种手段，对所沉积的类金...
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